Mis on fotolitograafia?
Fotolitograafia on üks olulisi protsesse integraallülituste (IC-de või kiipide) tootmisel. Lihtsamalt öeldes on see protsess, mille käigus kopeeritakse vooluringi muster substraadile, kasutades fotomaski ja fotoresisti.
Aluspind värvitakse ränidioksiidi isolatsioonikihile ja fotoresistile. Fotoresisti saab pärast UV-kiirgusega kokkupuudet ilmutiga kergesti lahustada, pärast lahustit ja söövitamist jääb vooluringi muster aluspinnale.
Mis on Photoresist? Miks peab 500 nm UV-lainepikkus blokeerima?
Fotoresist on kombineeritud vaikude, lahustite ja lisanditega. Fotoresisti valgustundlik vahemik on 200 nm{1}} nm. Seetõttu kasutavad paljud pooljuhtide laborid kollast valgust, mis blokeerib 500 nm UV-lainepikkuse, et vältida fotoresisti üle- või enneaegselt säritatud olukordi.
